Hastigheter med hög genomströmning och stor tillförlitlighet

Framgångshistoria: Temperaturreglering

Temperaturreglering

Som en företagspin-off av ASM producerar det nederländska företaget Levitech maskiner för halvledarindustrin. För att uppnå de mindre strukturerna och större enhetliga i halvledare som marknaden kräver, måste maskinproducenten genomföra nya värmeöverföringsmetoder. Detta kräver snabbare temperaturkorrigering och framför allt mer exakt kontroll. Därför letade Levitech efter alternativ för att styra termiska processer i sin levitmaskin. Hos JUMO hittade företaget från Almere i Nederländerna rätt partner där lösningen kunde genomföras.

Uppgift

Reaktorn för wafer-tillverkning består av 2 grafitskivor som upphettas till lämplig processtemperatur. För att generera optimala resultat måste skivorna uppvisa specifika funktioner. Gas används under denna process för att få skivan att sväva båda skivor utan att röra dem. För att uppnå den nödvändiga temperaturen på 1 200 grader Celsius används speciella Kanthal® värmeelement.

Målet är att tillämpa innovativa metoder för värmeöverföring som tillåter att underlätta mycket snabb uppvärmning och kylning av skivan. Båda sidorna av skivan har en likformig öppning av 0,15 mm säkerställer extremt effektiv värmeledningsförmåga. Skivan värms till temperaturen på grafitskivorna inom några sekunder. Avhandlingen styrs med ett specifikt värmekontrollsystem.

Levitor maskin för halvledarproduktion från Levitech

Lösningsmetod

Värmekontrollsystemet är där tyristoren Power Controller från JUMO kommer till användning. JUMO TYA 201 kontrollerar den önskade strömmen och spänningen hos Kanthal®-värmeelementet i varje temperaturfas och Therbury säkerställer exakt temperaturprogression under processen. Detta system gör det möjligt för skivan att produceras vid optimal temperatur som är densamma varje gång.


Skivan i Levitech Levitor

Skivan i Levitech från Levitor

Uppvärmd skiva i levitorn av Levitech

Skivan i den termiska processen

Projektets resultat

Tack vare egenskaperna hos JUMO TYA 201-tyristorn kan kravet på mer exakt kontroll och snabbare temperaturkorrigering uppfyllas. Som ett resultat kan de innovativa metoderna för värmeöverföring nu tillämpas i halvledarproduktion. Så här uppfyller Levitech marknadens krav och ökar genomströmningshastigheten samtidigt.