Wegmessende Verfahren

Kapazitiver Keramiksensor

Im Gegensatz zu den resistiven Verfahren wird nicht die Verformung selbst, sondern eine Distanzänderung ausgewertet, die aus der Verformung der Membran resultiert.

Die obere Kondensatorplatte ist die feste Platte (Cp-Elektrode), die Membran stellt die zweite Platte dar (Gegenelektrode). Der Lotring verbindet Membran und Grundkörper und definiert den Plattenabstand. Wird die Membran mit Druck beaufschlagt, ändert sich der Plattenabstand und damit die Kapazität. Der Membranhub beträgt nur ca. 30 μm. Dieser Aufbau eignet sich für niedrige Drücke bis in den einstelligen Millibarbereich. Die Überlastsicherheit ist sehr hoch, da sich die Membran maximal bis zur Gegenelektrode bewegen kann und dann dort anliegt.

Abb. 2 Aufbau Kapazitiver Keramiksensor

Der Membranhub beträgt nur ca. 30 μm. Dieser Aufbau eignet sich für niedrige Drücke bis in den einstelligen Millibarbereich. Die Überlastsicherheit ist sehr hoch, da sich die Membran maximal bis zur Gegenelektrode bewegen kann und dann dort anliegt.

JUMO. Druckmessumformer-Serie JUMO dTRANS p02 KERAMIK (404387)